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平面抛光机加工CVD金刚石膜单一加工技术与复合加工技术哪种好

作者:spider 发表时间:2014-04-14 人气:
    平面抛光机加工各种超硬材料,其效果不容置疑的,作为最理想的导弹天线材料的金刚石膜,被要求具有极小的表面粗糙度及极高的平面度,其加工方法相对复杂。
    可以加工这种材料的平面抛光机方法很多。但纯粹使用单一的方法,所加工出来的金刚石膜都存在各自的缺陷。
平面抛光机外观
    利用平面抛光机一般机械方法可以抛光大面积金刚石膜,效率也较高,却容易造成金刚石膜表面损伤。这种方法一般用于金刚石膜的粗加工。
    离子束抛光、反应离子束刻蚀和激光抛光只能对相对较小的金刚石膜进行抛光,
    使用热化学抛光和摩擦化学抛光,使用这种方法的平面抛光机可以使抛光后的金刚石膜局部达到甚至几个纳米的粗糙度,但整体粗糙度较高,且平面抛光机抛光过程中较高的压力与温度容易造成大面积金刚石膜的破裂和损伤。
    总的来讲,目前单一的平面抛光机抛光技术很难实现CVD金刚石膜的高效超精密抛光,这个与平面抛光机设备本身无关。
    题中所提到的平面抛光机复合加工方法指的是机械抛光与化学机械抛光相结合的抛光方法。采用游离金刚石磨料对金刚石膜进行粗抛光,可以缩短抛光时间,降低机械抛光损伤,再用平面抛光机化学机械抛光进行精加工,若将磨料粒径和抛光时间控制在合适的范围内,可以使CVD金刚石膜的表面粗糙度可以达到4.5nm以上。
    使用复合加工技术的加工金刚石膜,除了平面抛光机外,还有、、等。
 
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